主要技术指标包括：样品台尺寸，￠35mm，扫描范围，二维范围内最大值为20μm×20μm；最小值为10nm×10nm；表面粗糙度（表面最高点和最低点的垂直距离），最大值为2μm。

主要用于测量物体的微观表面形貌，配有普通接触式，普通敲击式和磁性敲击式三种探针，分别可进行AFM、DFM和MFM三种模式测量。其中接触式测量AFM，主要用于表面相对比较粗糙和硬度相对小的物体。磁性敲击式（MFM）在测试样品表面形貌的同时，还可以测出表面磁道或磁畴分布状况。

设备管理员：贺祯